空氣過(guò)濾器試驗(yàn)方法的發(fā)展歷史
隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,現(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)和現(xiàn)代化科學(xué)實(shí)驗(yàn)活動(dòng)對(duì)室內(nèi)空氣潔凈度的要求越來(lái)越高,特別是微電子、醫(yī)療、化工、生物、食品加工等行業(yè)都要求 有微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性的室內(nèi)環(huán)境,實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)的主要途徑是在潔凈空調(diào)系統(tǒng)中廣泛使用空氣過(guò)濾器。其中(HEPA)和(ULPA)過(guò)濾器是塵粒進(jìn)入潔凈室的zui后一道防護(hù).它的性能優(yōu)劣直 接關(guān)系到潔凈室等級(jí),進(jìn)而影響工藝過(guò)程和產(chǎn)品質(zhì)量。
為此,許多國(guó)家制訂和頒布性能試驗(yàn)方法的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn):美國(guó)委員會(huì)于1956年制定了標(biāo)準(zhǔn)MIL—STD一282,采用DOP(鄰苯二甲酸二辛酯)法,即用前向光散射式光度計(jì)檢測(cè)過(guò)濾器前后氣樣的濁度比來(lái)計(jì)算過(guò)濾器的過(guò)濾效率,此標(biāo)準(zhǔn)未作大的變更一直沿用至今;1965年英國(guó)制定的BS3928標(biāo)準(zhǔn)采用了鈉焰法.檢測(cè)儀器為火焰光度計(jì),1973歐洲的EUROVENT4/4標(biāo)準(zhǔn)沿用了這種方法;我國(guó)于1985年頒布了GB6166—85《空氣過(guò)濾器性能實(shí)驗(yàn)方法》,將油霧法和鈉焰法同時(shí)作為法定的性能 試驗(yàn)方法;日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JISB 1過(guò)濾器的性能試驗(yàn)方法1.1過(guò)濾器的效率檢測(cè)由前述可知。
過(guò)濾器的效率檢測(cè)方法多種多樣,但歷經(jīng)半個(gè)多世紀(jì)的發(fā)展和演變,目前影響較大、使用范圍較廣的有:DOP法、粒子計(jì)數(shù)法和zui易穿透粒徑t(MPPS)法。
1 DOP法是指熱生成(凝結(jié)法)DOP氣溶膠加光度計(jì)測(cè)量法。該法zui先由美國(guó)提出:將DOP液體加熱成蒸氣,蒸氣在特定條件下冷凝成微小液滴,去掉過(guò)大和過(guò)小的液滴后留下0.3“m左右的單分散相氣溶膠顆粒,霧狀DOP進(jìn)入風(fēng)道,后用光散射式光度計(jì)(Light—scattering photometer) 檢測(cè)過(guò)濾器前后氣樣的濁度比來(lái)計(jì)算過(guò)濾器的過(guò)濾效率。
2 粒子計(jì)數(shù)法 粒子計(jì)數(shù)法以粒子計(jì)數(shù)器作為檢測(cè)儀器,塵源采用單分散或多分散氣溶膠。多分散氣溶膠是通過(guò)噴霧法(冷生成)產(chǎn)生的,膠源有時(shí)也應(yīng)用DOP粒子,與熱生成DOP粒子相比.它們的材料相同,但分散度和檢測(cè)方法均不相 9927:1999《潔凈室用空氣過(guò)濾器性能試驗(yàn)方法》中采取粒子計(jì)數(shù)法對(duì)過(guò)濾器進(jìn)行檢測(cè);歐洲在1998—2000年制定了BSEN一1822標(biāo)準(zhǔn),采用zui易透過(guò)粒徑(MPPS)法檢測(cè)過(guò)濾器的過(guò)濾效率。下文將從效率測(cè)試、檢漏以及氣溶膠源等方面分析并比較外的多個(gè)標(biāo)準(zhǔn),并著重討論過(guò)濾器性能測(cè)試過(guò)程中存在的問(wèn)題,指出該領(lǐng)域今后和發(fā)展的方向。